低成本、大產能
鏈式靜態(tài)鍍膜設計/鍍膜工藝間距可調/鍍膜順序靈活可調
大產能設計,基于166硅片10000片/小時以上產能,兼容156-210硅片,成本更低
RF+RPSC雙電源設計,確保鍍膜和自清潔互不干擾,各自工作在更佳狀態(tài)
配套自主設計的高精度自動化傳輸設備
金辰股份與瑞士H2GEMINI公司積極合作,專注研發(fā)應用于HJT技術的新型PECVD工藝與設備,通過不斷嘗試與創(chuàng)新,最終取得了突破性進展,研發(fā)生產的HJT太陽能電池PECVD非晶硅薄膜設備具有產能大、成本低等優(yōu)點。
具備自有知識產權
與瑞士H2GEMINI公司合作聯合開發(fā)
歐洲團隊協(xié)助原型機方案驗證